勻膠旋涂儀

　　英國Ossila公司勻膠旋涂儀，操作簡單，方便實用，旋涂均勻，結構小巧緊湊，為實驗室提供了理想的解決方案，其采用創新設計的非真空卡盤式旋涂吸盤，無需真空泵或充氮氣，就能達到很好的旋涂效果。勻膠旋涂儀可對大小不同規格的基材都可進行旋涂，尤其是對超薄樣品，即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米、0.2毫米或更薄時同樣能達到旋涂效果。不會出現真空吸盤旋涂較薄的基材襯底翹曲現象，影響涂層的均勻性。勻膠旋涂儀廣泛應用于微電子、半導體、制版、新能源、生物材料、光學及表面涂覆等工藝。

　　Ossila勻膠旋涂儀控制和顯示：

　　1.非常方便設定處理速度和加速度程序段；可設置順序循環控制；

　　2.顯示精度控制在設定值的0.006%以內

　　3.操作者可隨時隨地自由實現人機交互；

　　設備運轉進程中，可隨意向前，向后或者往返跳躍操作步驟；

　　循環指令，并可以重復操作；

　　在運轉模式下也可以實時改變速度和加速度；

　　包含PC程序端接口；

　　可視化操作模型（化學試劑，傳感器所見即所得的操作界面）；

　　故障報警裝置（可形象顯明故障發生位置）。

勻膠旋涂儀技術性能

• 可在手套箱和通風廚內使用，基座面積僅為22.5x17cm。
• 無需真空泵、充氮氣，節省保養維護費用。
• 創新設計非真空卡盤式吸盤，基材只需放置在卡盤式旋涂托盤適當位置，無需抽真空，就能達到旋涂效果。
• 耐酸堿防腐蝕FEP覆膜操作界面，堅固的不銹鋼外殼，鋼化的玻璃蓋和耐酸堿防腐蝕的襯墊和聚丙烯材質旋涂托盤，使得在各種苛刻條件下仍能保證儀器正常運行。
• 勻膠旋涂儀采用液晶顯示+按鍵操作控制界面。智能程序化控制，10個用戶自定義協議，每個協議下可設置10個程序，每個程序多50個步驟。
• 內置水平校準裝置，大限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規格的基片進行旋涂。
• 電磁安全開關，蓋子打開卡盤停止，保證運行安全。
• 轉速穩定性：<2%。
• 轉速：120-6000rpm。
• 定時器：1-1000秒。
• 電源：DC24V、2A, 使用100-240V 50/60Hz電源適配器。
• 尺寸：220x170x132mm。
• 左：普通旋涂機上有真空密封環形印跡     右：Ossila非真空式旋涂效果